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在现代ULSI电路中沟道热载流子 (CHC) 诱导的退化是一个重要的与可靠性相关的问题。载流子在通过MOSFET通道的大电场加速时获得动能。当大多数载流子到达漏极时，热载流子（动能非常高的载流子）由于原子能级碰撞的冲击电离，可以在漏极附近产生电子—空穴对。其他的可以注入栅极通道界面，打破Si-H键，增加界面态密度。CHC的影响是器件参数的时间相关的退化，如VT、IDLIN和IDSAT。

这种通道热载流子诱导的退化（也称为HCI或热载流子注入）在NMOS和PMOS器件上都可以看到，并会影响所有区域的器件参数，如VT、亚阈值斜率、Id-on、Id-off、Ig等。每个参数随应力时间的退化速率取决于器件的布局和所使用的工艺。

图1. 通道热载流子退化

CHC退化测试的过程

一个典型的通道热载流子测试过程包括一个被测试器件（DUT）的初始化表征，然后是一个应力和测量循环[1]（图2）。在这个循环中，器件承受的电压高于正常工作电压的压力。器件参数包括IDLIN、IDSAT、VT、Gm等，在应力之间进行监测，并将这些参数的退化绘制为累积应力时间的函数。在进行此应力和测量循环之前，将测量同一组器件参数作为基线值。

图2. 典型的CHC测试过程

应力条件是基于最坏情况下的退化条件，这对于NMOS和PMOSFET是不同的。通常，对于漏极电压应力，它应小于源极漏极击穿电压的90%。然后，在漏极应力电压下，栅极应力电压因晶体管类型和栅极长度而不同。表1显示了使用不同技术[2]创建的NMOS和PMOSFET的最坏情况退化条件。

表1. NMOS和PMOS FETs的最坏情况应力条件

使用4200A-SCS半导体表征系统上的ITM可以很容易地确定最坏情况下的应力条件。

器件连接

在单个晶体管上执行CHC测试很容易。然而，每个CHC测试通常需要很长时间才能完成，所以希望有许多dut并行施加压力，然后在应力之间按顺序进行表征，以节省时间。为了实现这一点，需要一个开关矩阵来处理并行应力和应力之间的顺序测量。图3显示了针对多个DUT的典CHC测试的硬件配置。4200A-SCS提供了应力电压和测量能力，而开关矩阵支持并行应力和多个器件的顺序测量。

根据被测试器件的数量，使用可容纳一个矩阵开关（12个器件引脚）的708主机，或者使用最多6个矩阵开关（最多72个引脚）的707主机。不同栅极和漏极应力值的总数受到系统中SMU数量的限制。图4说明了使用8个SMU（总共8个不同的漏极和栅极应力偏差）加上一个接地单元（接地端子）并联20个晶体管对器件进行压力测试的连接图。

图3. 硬件配置连线图

图4. 使用8个SMU并行施加压力20个器件的示例。公共端子使用单独的接地单元（GNDU）。

确定器件参数

被监测的热载流子参数包括VTH、GM、IDLIN和 IDSAT。这些参数在应力之前首先测量，并在每个累积应力时间后重新测量。IDLIN是器件在线性区域测量漏极电流，而IDSAT是器件在饱和区域测量漏极电流。VTH和GM可以用恒流法或内插 / 外插法来确定。在内插 / 外插法中，VTH是由IDS- VDS曲线的最大斜率来确定。

4200A-SCS的公式编辑器工具大大简化了这些参数的提取。内置函数包括微分获得GM，MAX函数获得最大的GM（Gmext），以及最小二乘线拟合函数提取 VTH（Vtext）。计算这些参数的公式可以在4200A-SCS提供的HCI项目中找到，并在测试库中的相应的测试中找到。这些公式的一些例子包括：

GM = DIFF(DRAINI,GATEV)

GMEXT = MAX(GM)

VTEXT = TANFITXINT(GATEV,DRAINI,MAXPOS(GM))

最后一个公式（VTEXT）是ID-VG曲线在最大GM点处的切线拟合的x截距。图5说明了公式编辑器的界面。

图5. 4200A-SCS的公式编辑器界面

一旦这些参数从各个测试中计算出来，它们就可以通过选中“输出值”选项中的复选框来导出，以监测应力时间的退化。对于每个测试，都可以选择退出选项，允许系统跳过该器件，或者在器件出现故障时停止整个CHC测试。有关这些选项的更多详细信息，请参阅完整的4200A-SCS参考手册。

设置应力条件

在4200A-SCS软件的吉时利Clarius版本中增强的功能之一是项目树结构中可以增加一个应力循环，可以施加电压和电流应力。用户可以利用应力循环在预设时间上设置直流应力。每个周期的应力时间可以以线性或对数的方式进行设置（见图6）。该特性用于 CHC/HCI、NBTI、EM（电迁移率）和电荷捕获应用，以提供恒定的直流应力（电压或电流）。在应力 / 测量模式下，用户可以为被测器件的每个终端设置应力条件（图7）。在每个应力周期之后，4200A-SCS经过一个测量序列，其中可以包括任意数量和类型的用户定义的测试和参数提取。这些参数随时间的退化情况被绘制在应力图中。4200A-SCS的“工具包”体系结构为用户在创建测试序列和压力测量方面提供了巨大的灵活性。

对于关键参数，可以设置一个目标退化值（图7）。一旦该参数的退化超过了目标值，特定的测试将停止。通过消除不必要的压力和测量故障器件上的周期，将会节省了大量的时间。

图6. 应力循环设置页面

图7. 器件应力 / 引脚连接 / 退化目标值设置窗口

如果项目中定义了多个DUT，则可以使器件压力设置窗口中的“上一个器件”和“下一个器件”按钮在器件之间进行切换（图7）。“复制”和“粘贴”按钮可以用于将压力设置从一个器件复制到另一个器件中，而不需要在所有输入字段中重新输入所有信息。由于多个器件在不同的应力配置中并行施加应力，因此很难将所需的不同应力的数量和可用于应用它们的SMU的数量联系起来。按下“检查资源”按钮，可以很容易地确定是否有足够的SMU来处理所有涉及的压力，并查看这些SMU是如何分配给每个不同的压力的。如果开关矩阵连接到系统上，并且如果终端上的应力为0V，则默认使用接地单元。

图8a显示了一个单独的数据表（图8a），它可以合并到相应的应力设置窗口中，以保存有关周期指数、应力时间和从应力之间的测量中提取的监测参数的信息，如ID和VT。数据将以Excel文件格式（.xls）自动保存在项目目录中，将数据以文本或Excel文件的形式导出到其他位置。如果系统处于应力 / 测量模式，监测参数相对于预应力测量的退化会自动计算，并可以绘制在图8b中。有关更多压力测量的信息，在Clarius中提供的功能，请查阅完整的4200A-SCS参考手册。

a)

b)

图8. a) 应力数据表存储所有应力信息，包括应力期间的测量结果和应力之间测量的选定参数。b) 退化百分比数据作为应力时间函数的图

建立CHC项目

下面的步骤概述了构建CHC项目的典型过程。有关每个步骤的详细信息，请参考完整的4200A-SCS参考手册。

1. 创建项目结构

a. 确定开关矩阵是否可用

b. 确定是否有足够的SMU可用

c. 构建项目结构

2. 在应力之间建立测试

a. 如果使用了开关矩阵，进行开关连接。

b. 使用（ITMs）构建新的测试

c. 使用公式器工具计算器件参数

d. 在合理条件下设置退出

e. 对于监测退化，导出监测的参数值

f. 重复步骤b到步骤e，以监控更多的参数

3. 如果有多个DUT，则重复步骤2。

4. 在子项目中，设置应力条件。

a. 设置压力时间

b. 设置器件应力条件

i. 应力电压

ii. 引脚连接

iii. 目标退化值

iv. 进入下一个器件

5. 运行项目并检查退化数据

参数退化数据和原始测量数据在项目运行期间自动以Excel文件格式保存。因此，即使项目在完成前就停止了，也已经捕获了测量数据。应力之间的原始I-V曲线可以叠加在应力循环上，所以很容易看到I-V是如何作为应力时间的函数而退化的。图9显示了覆盖21个应力循环后的Vgs-Id曲线。

图9. 多个应力的叠加数据图

图10是一个在晶圆片上测试五个位置的CHC项目的例子。4200A-SCS通过与市场上最常见的半自动探针台兼容的内置驱动程序控制探针台的移动。

图10. 晶圆级CHC测试的范例

结论

Clarius中增强的应力测量循环可以轻松设置CHC测试。结合交互式测试界面、公式工具和强大的图形功能，Clarius使4200A-SCS成为评估器件可靠性参数的理想工具，如CHC诱导的MOSFETs退化，以及它在器件表征中更广为人知的作用。

参考

[1] JEDEC标准28-A，“Procedure for Measuring N-Channel MOSFET Hot-Carrier-Induced Degradation Under DCStress”，2001。

[2] Vijay Reddy，“An introduction to CMOS semiconductor Reliability”，IRPS教程，2004年。

7月12日14：00，海尔空调“挑战79℃高温制冷新纪录”体验云众播在海尔智家APP上线。海尔空调将70平方米的智慧客厅和智慧卧室场景搬进沙漠，展示了79℃“高温禁区”吃火锅、极限补水、极限防直吹、极限飞沙、极限高温制冷等5大场景挑战。通过挑战，为用户提供了空调高温制冷、防直吹，空气净化、补水等健康场景解决方案。

环球探险家侣行夫妇、莫高窟壁画匠人、敦煌文化特约讲解员还参与到“体验云众播”当中，分享了各自的健康空气需求，并体验了海尔空调“56℃除菌自清洁 只吹干净风”的原创科技。

场景一：一吃火锅就出汗！侣行夫妇79℃沙漠清凉吃火锅

平时夏天吃火锅就能出一头汗，这次不一样。侣行夫妇在沙漠中一边吹空调，一边吃火锅。在79℃沙漠高温下，海尔空调所在的智慧客厅温度只有23℃。侣行夫妇表示，室内外仅一门之隔完全是两个世界，海尔空调的制冷能力出乎意料。

海尔空调高级工程师雷永锋介绍，天再热，这款空调也能扛得住，给用户带来舒适降温。雷神者空调采用海尔独创的PKC变频控制技术，搭载高比表面积的螺纹铜管、双翼翅片、稀土压缩机，让空调高温高负载下仍能稳定运行、强劲制冷。

场景二：空调吹风太干燥？海尔56℃除菌空调挑战极限加湿

在空调房里敷面膜，空气太干体验打折扣？在湿度不足5%的沙漠里呢？体验云众播中，海尔水洗空调挑战了极限加湿。开启“水洗功能”后，室内湿度从32%升至52%。现场，梁红也做了对比测试发现，用手攥紧面膜仍然可以挤出水。她表示，“空调吹着不干，加湿净化功能很实用。”

雷永锋介绍，这款空调的好处是解决了吹风干燥和空气净化的问题。水洗空调内部形成“暴雨式”喷淋清洗室，有效加湿净化。在净化效果方面，现场一台检测仪显示，室内PM2.5降至15，净化效果明显。

场景三：雾霾沙尘天难开窗？海尔56℃除菌空调挑战极限飞沙

关窗开空调，总感觉憋闷。雾霾沙尘天，还担心空气污染。海尔空调针对沙尘、雾霾场景，挑战极限飞沙环境。

在户外，越野车制造起“人工沙尘暴”，扬沙弥漫，室外空气PM2.5数值爆表。在室内，海尔新风空调开启换新风，室外空气经过五重净化换进室内，戴白手套擦拭出风口没有黄沙。从数据上看，室内PM2.5数值从82降到13，为用户提供了不开窗换新风的使用体验。

场景四：空调风直吹怕冷？海尔56℃除菌空调挑战高温防直吹

普通空调冷风直吹太难受？体验云众播中，敦煌壁画艺术研究院创始人李永军带来了他创作的莫高窟壁画代表性作品《反弹琵琶》，现场挑战防直吹。

这幅作品是由温感变色的颜料创作的。开启海尔舒适风Pro空调，当温度达到22℃时，原本无色的壁画瞬间均匀变色。雷永锋介绍，如果空调直吹，壁画只能局部变色，能让壁画均匀显色是因为空调的防直吹功能。它也解决了用户不敢直吹空调的问题，空调能精确测算最佳送风角度，吹出自然风。

场景五：空调怕热罢工！海尔56℃除菌空调挑战极限高温制冷

高温天，不少家庭里空调出现了不制冷或停机现象。什么样的空调不怕热？

沙漠中，为了挑战更高温，海尔空调室外机被扣上了罩壳，实测温度达79℃。室内海尔雷神者空调却不受高温影响，将室温降低到25℃左右，并始终保持这一温度。现场的“巧克力长城”直观展示了空调的制冷实力：吹着空调的“巧克力长城”矗立不倒。而当关闭空调后，“巧克力长城”很快融化。

海尔雷神者空调在79℃“高温禁区”的沙漠，也能吹出凉风。除了高温制冷之外，它还具有深紫外UVC杀菌和56℃高温除菌等功能,实现空调和空气双重除菌。在自清洁过程中，侣行夫妇还用蒸发器结出的霜层制作了冰沙莫吉托。

有水源就是绿洲，海尔空调用成套的智慧空气方案在79℃沙漠里打造了一片“空气绿洲”。海尔空调敢在“高温禁区”进行挑战，源自于对品质的自信。同时“体验云众播”也让用户沉浸式体验全空间、全维度、全场景的健康空气解决方案。

安达人寿

一、全球顶尖综合实力，财务稳健性行业领先

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2.保单与投资联动配置：实现保单现金价值与私募、公募基金投资的深度联动，构建 “保障底仓 + 增长进攻” 的资产组合，让保险从单纯的风险保障工具，升级为财富综合管理的核心载体。

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而选择香港保险公司的核心逻辑，应跳出短期销量榜，优先参考《福布斯》2000 强等综合实力榜单，同时关注国际信用评级、分红实现率、偿付能力三大硬指标，安达人寿在这三大指标上均达到香港市场顶级水平，是长期保障与财富管理的优质选择。

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34岁的卡塞米罗在周日3-1战胜阿斯顿维拉的关键战打入首开记录的入球，那已经是其本赛季第7个进球，追平生涯最高纪录。而且，他也策动随后库尼亚和谢什科的进球，体现良好的状态。老特拉福德球迷高呼「再踢一年」，从场内喊到了场外。

年轻队友莱尼·约罗表示，「每个人都希望」卡塞米罗留下。然而，「胖虎」早在1月已经决定离开，曼联同意其请求并且官方宣布夏窗结束合作的消息。不仅如此，拉爵其实早在宣布之前，就已经做出了不续约的决策。

约罗在混合区接受采访时说：「大家都希望卡塞米罗能留下。他对我们而言是一名非常重要的球员，今天的表现就再次证明了这一点。即使每天在更衣室里，他也拥有其他队友没有的经验，他赢得过一切荣誉，这在比赛中发挥了巨大作用，而在场外也是如此。」

比赛结束后，卡里克没有完全排除卡塞米罗续约的可能性，但他说那很难发生。而《曼彻斯特》报道更加肯定，俱乐部内部并没有讨论过要试图留住卡塞米罗。

不续约卡塞米罗这一决定，其实早在公开宣布之前就已由曼联的足球管理层做出。俱乐部决定不再与他续约，是其重组球队阵容的长期战略的一部分。对拉爵而言，这样可以节省高达1800万英镑的工资，尤其是下赛季重返欧冠的话。

卡塞米罗上个月度过了34岁的生日，他是球队中薪酬最高的球员，重返欧冠后的周薪为35万英镑。曼联认为，节省的薪酬空间可以用来加强球队实力，足以在夏天引进两名中场球员补强球队阵容。卡里克也提到了曼联取代卡塞米罗的问题，他承认难度很大但并非不可能，并建议不一定要寻找完全相同风格的接班人。

虽然卡塞米罗在本赛季表现出色，但那是因为曼联只有一周一赛，甚至两周一赛，他难以承担一周双赛的节奏。曼联非常有望在下个赛季重返欧冠赛场，他可能发现，到时的环境已不再像本赛季那样适合他的发挥。本赛季，卡塞米罗最多将参加36场比赛。

许多球员的过往经历都表明，当一个人迫切想要展示自己，以求达到一些目标的时候，他们往往会有非同一般的表现。曼联自己也经历过「续约狂人」阿什利·扬、卢克·肖和拉什福德等球员的情况。此外，一名老将的衰落不一定是循序渐进的，有时候可能断崖下滑。卡塞米罗不可能同意在表现最突出的时候大幅降薪，因此拉爵认为续约他风险依然过大。

意大利转会专家法布里济奥·罗马诺亦证实，曼联仍不打算与卡塞米罗续约。罗马诺上周就说过相同的内容，而在周日的比赛后他重申：「关于卡塞米罗的情况，很多人问我：曼联会不会改变主意，给卡塞米罗提供一份新合同呢？如果卡塞米罗愿意留下，再为曼联效力一个赛季的话，还能参加欧冠联赛。曼联距离欧冠参赛资格已经越来越近。可惜曼联方面的答复是：目前一切照旧，没有任何变化。」

罗马诺补充道：「各位，我无法推算未来。我无法告诉你们，两个月后曼联的董事会是否决定换一名新教练。谁知道呢，让我们拭目以待。也许他们会改变主意，选择继续与卡塞米罗合作。但是，今天我的任务就是告诉你们现在的情况。此刻，曼联的消息是不跟卡塞米罗进行新一轮谈判。他签的是一份大合同，工资非常高，而且年龄也是一个需要考虑的因素。」

在老特拉福德，听到球迷挽留的歌声，卡塞米罗面露微笑，朝看台挥手。自尊心很强的巴西人也选择享受这一刻，带着美好的回忆离开曼联，让人怀念自己；而不是等状态下滑后，再次遭遇口诛笔伐狼狈地走人。